產(chǎn)品介紹

不銹鋼硅烷燃燒塔系統(tǒng)

      從PECVD工藝設(shè)備出來的廢氣主要為硅烷及氨氣。硅烷是一種可燃性氣體，并且易自燃（接觸空氣后就會燃燒），而氨氣是一種可溶性氣體，處理這些混合廢氣分兩步走：先燃燒后噴淋吸收。本項(xiàng)目采用1套我公司最新研制生產(chǎn)的XJR-II-2型不銹鋼硅烷燃燒塔。

      PECVD的工藝廢氣設(shè)備具體處理過程如下：

      含有硅烷及氨氣等成分的混合廢氣通過管道進(jìn)入不銹鋼硅烷燃燒塔中，在燃燒塔的燃燒室內(nèi)硅烷氣體與通入的壓縮空氣接觸燃燒，燃燒后產(chǎn)生的二氧化硅粉塵從燃燒室底部的排渣口排出，而含有氨氣的其他廢氣進(jìn)入噴淋洗滌室。在噴淋洗滌室中，氨氣與循環(huán)液發(fā)生反應(yīng)而被處理掉，處理完的氣體經(jīng)脫液室脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)抽出，最后通過排放煙囪排入大氣，排出氣體達(dá)到GB14554-93《惡臭污染排放標(biāo)準(zhǔn)》標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)PECVD發(fā)生故障而出現(xiàn)應(yīng)急排放時會排出大量的純硅烷，為了提高系統(tǒng)處理應(yīng)急排放時的廢氣處理能力，本系統(tǒng)在燃燒塔前接一個不銹鋼硅烷應(yīng)急燃燒筒。

      具體處理如下圖：

      為了提高設(shè)備安全性，在進(jìn)氣方面采用壓縮空氣加新風(fēng)補(bǔ)氣的雙進(jìn)風(fēng)形式；在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動補(bǔ)水相結(jié)合的方法；清渣方面采用我公司最新研制的隔離清渣系統(tǒng)，可以在不停機(jī)的狀態(tài)下輕松解決清渣問題，解決以往必須停機(jī)才可清渣的缺點(diǎn)；在噴淋室內(nèi)加裝了一套粉塵分離系統(tǒng)，可以有效的將少量沒能在燃燒室沉積下來的二氧化硅粉塵進(jìn)行自動分離，這些最新的結(jié)構(gòu)設(shè)計使整個設(shè)備真正做到24小時不停機(jī)運(yùn)行；風(fēng)機(jī)采用一用一備形式。這些工藝特點(diǎn)一方面使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到進(jìn)一步的保證，另一方面徹底解決因設(shè)備停機(jī)檢修而給用戶帶來的直接經(jīng)濟(jì)損失。

圖片實(shí)拍